用真空泵油來保持運(yùn)動部件的密封、靠泵腔容積變化而實(shí)現(xiàn)抽氣的機(jī)械真空泵統(tǒng)稱油封機(jī)械真空泵。
油封機(jī)械真空泵的工作原理都是使泵腔工作室容積機(jī)械地增大和縮小而抽氣。當(dāng)泵腔內(nèi)工作室容積變得最小時(shí)，與泵的入口管道連通，于是氣體進(jìn)入泵吸入腔，一直到吸入腔容積最大并重新與進(jìn)氣口分開時(shí)為止。當(dāng)容積減少時(shí)，氣體被壓縮，直到氣體的壓力大于一個(gè)大氣壓，排氣閥被打開，將氣體排出。這就完成了油封機(jī)械真空泵的整個(gè)抽氣過程。
當(dāng)前大量使用的機(jī)械真空泵，即使設(shè)計(jì)得最好，相向運(yùn)動的零件間配合精度即使很高。在泵達(dá)到極限真空時(shí)，也難以阻止氣體由低真空端向入口端“突破”返流。另外，由于泵在設(shè)計(jì)制造及裝配中不可避免地存在有害空間，這也降低泵的極限真空度。
油封機(jī)械真空泵就是用油將相向運(yùn)動的零部件和排氣閥零件間密封起來，將有害空間充填，使得高壓氣體反“突破”的機(jī)會少得多，密封性能也就好得多，從而使泵能達(dá)到較高的真空度。
油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵按照結(jié)構(gòu)型式可分為定片式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線式真空泵四種。目前，油封機(jī)械真空泵是國內(nèi)真空獲得技術(shù)中應(yīng)用最廣的一種泵，它可單獨(dú)用作低真空設(shè)備的排氣用泵，也可用作高真空排氣時(shí)的前級真空泵。而目前用的最多的主流產(chǎn)品還是以旋片式真空泵居多。
因此，它已在國民經(jīng)濟(jì)的很多部門，例如電真空、電子、輕化工、鋼鐵、有色冶煉等工業(yè)部門中發(fā)揮著越來越大的作用。由于這類泵均裝有氣鎮(zhèn)裝置，故也可以抽除潮濕氣體。但現(xiàn)在還不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對黑色金屬有腐蝕性，對泵密封油起化學(xué)作用、及含有顆粒灰塵的氣體。
目前，國內(nèi)的許多研究單位和生產(chǎn)廠家正在設(shè)計(jì)和生產(chǎn)出抽除水蒸氣和耐腐蝕的油封真空泵系列。隨著新技術(shù)、新材料的發(fā)展和應(yīng)用，性能更好的、能滿足各種工業(yè)需要的、適應(yīng)能力強(qiáng)的各種油封機(jī)械真空泵必將生產(chǎn)出來。
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